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             濕      式       清       洗       槽

       

               update:2014/07/16

中文名稱 濕式工作台 英文名稱 Wet Bench
儀器廠牌型號 欣賢公司 購置年限 1993年
放置位置 博愛奈米中心1樓111實驗室 (TEL:55684)
功能

晶片(矽或III-V)之RCA清洗(含每個清洗步驟,如煮酸、蝕刻、沖水等項)

重要規格

1.無機清洗1台

2.注水鵝頸龍頭、DI水槍、氮氣槍

聯絡人

1.儀器專家:  黃遠東 (TEL : 03-57121212-55601)

2.儀器負責研究生:  范揚楨 (TEL : 03-5712121-55654)