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   蝕刻清洗台

     

               update:2014/07/16

中文名稱 蝕刻清洗台 英文名稱

Wet Bench

儀器廠牌型號 欣賢公司 購置年限 1993年
放置地點 博愛奈米中心二樓213實驗室 (TEL:55680)

功能

晶片(矽或III-V)之RCA清洗(含每個清洗步驟,如煮酸、蝕刻、沖水等項)

重要規格

1.有機清洗2台

2.無機清洗2台

3.注水鵝頸龍頭、DI水槍、氮氣槍

聯絡人

1.儀器負責教授:黃遠東(TEL:03-5712121-54138、55601)

2.儀器負責技術員:范揚禎(TEL03-5712121-55654)