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    厚  膜  光  阻  塗  佈  機

       

               update:2014/07/16

中文名稱 厚膜光阻塗佈機 英文名稱 Spin coater for thick photoresist
儀器廠牌型號 德國Karl Suss  RC-8 購置年限 1998年526
放置位置 博愛校區奈米中心2樓218室  (TEL:55679)
功能

厚膜光阻之塗佈

重要規格

1.可多段轉速、時間控制

2.本機台僅供厚膜光阻塗佈用

3.本機台僅提供4吋晶片使用

4.金屬上蓋開啟時的最高轉速為1000rpm

5.金屬上蓋蓋上時的最高轉速為5000rpm

6.允許的最大加速度(ACCN):3000rpm/s

聯絡人

1.儀器負責教授徐文祥 (TEL:03-5712121-55111)

2.儀器負責研究生:張駿偉(TEL:03-5712121-55149)