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             熱 阻 式 蒸 鍍 系 統 (二號系統)

       

               update:2014/07/16

中文名稱

二號系:

1.熱阻式蒸鍍系統

2.手套箱

英文名稱

1.Thermal Evaporator

2.Glove Box

儀器廠牌型號

1.熱阻式蒸鍍系統 : 俊尚    

2.手套箱 : 藝漣

購置年限 2008年
放置位置 博愛奈米中心1樓114實驗室 (TEL:55683)
重要規格

1.熱阻式蒸鍍系統:

    (1).可在70mm × 70mm以下基板上蒸鍍金屬、有機材料。

    (2).蒸鍍室到達5 ×10-6 Torr 30分鐘。

2.手套箱:

    (1).水氧分析儀可移動式。

    (2).提供spin coater

    (3).本系統提供UV封裝設備。

開放辦法

1.需具備有交通大學博愛校區奈米中心門禁資格。

2.每週開放服務時間為週一早上8:00至下午5:00,共計一天。

3.每預約時段為4小時(8:00~12:0013:00~17:00)。經考核後均可開放預約並自行操作。

5.系統開放予博士班或碩士班學生,同時提出研究使用計畫及材料特性予本單位,由本單位評並

   決定是否接受新訓練申請案,每實驗室以兩人為限。

6.新訓人員累積訓練次數達3次以上者方可向機台負責人申請考核。考核通過者可於開放時間內進

   行預約並自行操作。

7.考核通過者有訓練新訓人員之義務。

8.考核通過者若連續 3個月無自行操作紀錄,則取消其自行操作資格。日後若需自行操作,需另

   行申請、訓練、考核。

9.若機台出現參數異常,請立即通報管理員,切勿自行處理。

服務辦法

1.熱阻式蒸鍍系統:

    (1).每週一早上8:00至下午5:00開放。

    (2).欲申請者請參照二號、三號系統標準預約流程,為避免預約時段衝突,請列出三個預

          約時段志願,並於欲預約實驗前一週週二13:0017:00進行預約,於週三上午10:00始可確認

          預約時段,如仍有衝突請於當日下午5:00前再次進行預約,並於週四再次確認時段。

    (3).如有任何疑問,請來電洽詢儀器管理人員

2.手套箱:

    (1).本系統每週一早上8:00至下午5:00開放服務。

    (2).每個預約時段為4小時(8:00~12:0013:00~17:00)

    (3).本系統每機台經考核後均可開放自行操作。

    (4).內部維護或技術發展與訓練則不接受預約,定期維修保養,將於一週前於預約系統行事曆公

          告,若為突發狀況則由管理員電話告知。

    (5).如有需保留放置元件,本單位提供真空載具,供傳輸至三號系統手套箱存放,本系統手套箱

          不提供暫放服務。

    (6).如有任何疑問,請來電洽詢儀器管理人員。

聯絡人

儀器負責教授:孟心飛 (TEL:03-57121212轉31955)

儀器管理人員:葉翰政 (TEL:0953-382925)

                    趙寅初  (TEL:0952-929219 (03)573-60125622356225)

申請表格

實驗申請單

相關罰則

1.若因違反規定造成機台污染或損壞,所隸屬單位須負責賠償,賠償費用由原廠評估,再由本單

    位開會決議後執行並暫停機台之使用權。

2.本實驗室有權經國科會同意更改開放辦法,以提供更好的實驗品質。

收費標準

項目

學術界

產業界

委託操作

600(/小時)

1500(/小時)

自行操作

300(/小時)

不開放

考核訓練

300(/)

不開放

 

蒸鍍材料收費標準

1.金屬鍍料之收費含鍍料及鎢舟使用費,每次鍍料以蒸鍍100nm為限,如超過則另加次數收費

   (以蒸鍍機顯示厚度為主)

2.基板與鍍料如有特殊需求,請與管理者聯繫。

3.使用時間未達4小時以4小時計算。

*pentaceneC60由本實驗室提供,以本單位採購價格計費。

Au

時價

Ag

時價

Al

200/

Ca

500/

LiF

300/

MoO3

500/

pentacene

時價

C60

時價