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     熱     蒸     鍍     機

     

               update:2014/07/16

中文名稱 熱蒸鍍機 英文名稱

Thermal Coater

儀器廠牌型號 ULVAC 購置年限 2006年
放置位置 博愛奈米中心二樓211實驗室  (TEL:55662)

功能

利用加熱方式蒸鍍需要之材料

重要規格

1.      真空腔體

甲、腔體大小約:400 * 400* 550 mm

乙、內含基板ψ2 inch基板4枚,附shutter mode window

丙、以公轉方式旋轉基板其尺寸為2 inch基板。基板旋轉需要可以調整速度

丁、腔體可加熱至200℃,控制用SCR PID控制。

戊、內面電解拋光,腔體外面水冷pipe

己、Manual front open/close chamber door

庚、Spare 1 port for buffer tank connection in glove box

辛、Coating protection shieldings.

2.      主排氣系統為機械pump及cryo pump組合而成

甲、Cryo-Pump with compressor (至少達4,000 l/s for H2O(g) )

乙、Tow-stages rotary pump (至少達600 l/min at 60Hz).

3.      石英振盪片監控監即時控膜厚。其務差控制在5000Å ≦± 20﹪以下

4. 控制系統,系統為自動排氣、自動鍍膜

聯絡人

1.儀器負責教授韋光華 (TEL03-5712121-31871)

2.儀器負責研究生蘇明鑫 (TEL:03-5712121-31771)

                                       林宏威 (TEL03-5712121-31771)