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    三 維 輪 廓 及 表 面 粗 度 量 測 儀

       

               update:2014/07/16

中文名稱 三維輪廓及表面粗度量測儀 英文名稱

3D profile and surface roughness measurement instrument

儀器廠牌型號 Kosaka Laboratory Ltd. , ET-4000 購置年限 2001年12月
放置位置 博愛校區奈米中心2樓215室  (TEL:55682)

功能

晶片表面輪廓以及粗糙度量測

重要規格

1.適用晶片:8吋以下

2.Z方向量測範圍:±50μm

3.Z方向解析度:0.1nm

4.測定力:0.05~50mgf

5.觸針半徑:0.5μm

聯絡人

1.儀器負責教授徐文祥 (TEL:03-5712121-55111)

2.儀器負責研究生楊涵評 (TEL:03-5712121-55149)