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             高  分  子  化  學  氣  相  沉  積  系  統

       

               update:2014/07/16

中文名稱 高分子化學氣相沉積系統 英文名稱 Polymer Deposition System
儀器廠牌型號   購置年限 2005年11月
放置位置 博愛奈米中心1樓115實驗室 (TEL:55685)
功能

Parylene經加熱蒸發分裂,在基板上重新鍵結

重要規格

1. 真空幫浦,可抽真空,抽氣量10CFM,壓力可達1mTorr

2. 大小為12”*12”直立式,體積容量為21公升

3. 可自動供應氮氣冷卻捕捉器

4. 沉積3片以上試片,沉積厚度10~2um,膜厚均勻度須在正負5%

聯絡人

1.儀器專家:   徐文祥 (TEL:03-5712121-55111)

        范士岡(TEL:03-5712121-55813)

2.儀器負責研究生:  林上哲 (TEL:03-5712121-55814)     (0929-392396)