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    蒸鍍機

       

               update:2014/07/16

中文名稱 蒸鍍機 英文名稱 Evaporator
儀器廠牌型號 ULVAC 購置年限 2005年5月1日
放置位置 博愛校區奈米中心2樓212室  (TEL:55680)

功能

蒸鍍金屬與有機材料

重要規格

1. 在ψ4 inch基板上做前處理及蒸鍍有機分子。

2. 前處理室到達1.3X10-3Pa(5X10-6Torr)30分鐘。

3. 有機蒸鍍室室到達1.3X10-3Pa(5X10-6Torr)30分鐘。

聯絡人

1.儀器負責教授孟心飛 (TEL:03-5731955)

2.儀器負責研究生趙宇強(TEL:03-5712121-56223)