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    CO2  乾  燥  機

       

               update:2014/07/16

中文名稱 CO2乾燥機 英文名稱

CO2 Critical Point Dryer

儀器廠牌型號 德國 BAL-TEC, CPD 030 購置年限 2001111
放置位置 博愛校區奈米中心2樓213室  (TEL:55680)

功能

矽晶片之清洗乾燥,與MEMS微結構乾燥釋放

重要規格

1.試片容器:6 chambers f 10 ´ 14 mm and 3 chambers 4 ´ 6 ´ 4 mm

   (最多9個試片)

2.試片工作壓力腔(Specimen chamber):f 40 ´ 36 mm (~ 70 ml)

3.工作溫度10°C ~ 40°C

4.liquid CO2工作壓力 > 74 bar

5.最大CO2氣體容許供氣壓力 150 bar

聯絡人

1.儀器負責教授邱俊誠 (TEL:03-5712121-31881)

2.儀器負責研究生林煒廷 (TEL:03-5712121-54387)