NFC 奈米中心博愛校區

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博  愛  校  區  儀  器  設  備

博愛儀器設備一覽表

微米機電實驗

1 掃描式電子顯微鏡(SEM)
2 真空濺鍍機 (Sputter)
3 表面粗度儀 (Surface Profiler)
4 晶圓切割機 (Precision Dicing System)

有機半導體實驗

1 旋轉塗佈機 ( Spinner )
2 分光式彩色分析儀 ( Spectrascan Colorimeter )
3 二氧化碳乾燥機 (CO2 Dryer)
4 蝕刻清洗台 (Wet Bench)
5 蒸鍍機(Thermal Coater)
6 真空烤箱 (Vacuum dry oven)
7 手套箱

微影實驗室

1 光罩對準曝光機 (Mask Aligner)
2 光阻塗佈機 (Spin Coater)
3 晒版機 (UV exposuer)
4 DNA/RNA合成儀  (基因晶片實驗室)
5 厚膜光阻塗佈機 (Thick P.R. Spinner)

奈米光電複合材料實驗室

1 手套箱
2 熱蒸鍍機

有機半導體實驗室

1 二號系統--熱阻式蒸鍍系統 (Thermal Evaporator)
2 三號系統--熱阻式蒸鍍系統 (Thermal Evaporator)
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分機一覽表
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